Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法
Test method for crystal quality of III-nitride epitaxial layers
国家标准《Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 中国科学院半导体研究所 。
主要起草人 孙宝娟 、赵丽霞 、王军喜 、曾一平 、李晋闽 。
目录
1标准状态
- 发布于2014-12-31
- 执行于2015-09-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 30653-2014
- 发布日期
- 2014-12-31
- 实施日期
- 2015-09-01
- 中国标准分类号
- H21
- 国际标准分类号
- 77.040.20
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
3起草单位
4起草人
5相近标准（计划）
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