Standard method for showing andmeasuring dislocation etch pits in indium antimonide single crystal
国家标准《锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 电子十一所 。
20065635-T-469 锑化铟单晶位错蚀坑的腐蚀显示及测量方法
GB/T 34481-2017 低位错密度锗单晶片腐蚀坑密度(EPD)的测量方法
GB/T 5252-2006 锗单晶位错腐蚀坑密度测量方法
GB/T 33763-2017 蓝宝石单晶位错密度测量方法
GB/T 8760-2006 砷化镓单晶位错密度的测量方法
SJ/T 11490-2015 低位错密度砷化镓抛光片蚀坑密度的测量方法
SJ/T 11489-2015 低位错密度磷化铟抛光片蚀坑密度的测量方法
GB/T 11072-2009 锑化铟多晶、单晶及切割片
20173473-T-610 砷化镓单晶位错密度的测试方法
20173474-T-610 锗单晶位错密度的测试方法