多晶硅用三氯氢硅
地方标准《多晶硅用三氯氢硅》由云南省质量技术监督局归口上报，主管部门为云南省质量技术监督局。
主要起草单位 昆明冶研新材料股份有限公司 。
主要起草人 金波 、亢若谷 、马启坤 、赵建为 、赵祖乔 、罗平 、张云晖 、李仕勇 、宋东明 、韩小月 。
目录
1标准状态
- 发布于2013-08-01
- 执行于2013-10-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- DB53/T 499-2013
- 发布日期
- 2013-08-01
- 实施日期
- 2013-10-01
- 中国标准分类号
- G 10
- 国际标准分类号
- 71.060.99
- 归口单位
- 云南省质量技术监督局
- 主管部门
- 云南省质量技术监督局
- 行业分类
- 制造业
3备案信息
备案号：38310-2013。
备案公告： 2013年第9号 。
4适用范围
本标准规定了多晶硅用三氯氢硅的要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输和贮存等内容。本标准适用于改良西门子法生产的多晶硅用三氯氢硅。
昆明冶研新材料股份有限公司