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多晶硅铸造用熔融石英坩埚

Fused quartz crucibles for cast polycrystalline silicon growth

国家标准计划 制订 推荐性

国家标准计划《多晶硅铸造用熔融石英坩埚》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中材江苏硅材料有限公司;中国电子技术标准化研究所;国家硅材料深加工产品质量监督检验中心

目录

1项目进度

  • 网上公示
  • 起草
  • 征求意见
  • 审查
  • 批准
  • 发布

2基础信息

计划号
20141874-T-469
制修订
制订
项目周期
24个月
下达日期
2014-12-23
国际标准分类号
81.080
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

3起草单位

4相近标准(计划)

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