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硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法

行业标准-YS 有色金属 推荐性 现行

行业标准《硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 中锗科技有限公司江苏中能硅业科技发展有限公司昆明冶研新材料股份有限公司

主要起草人 刘新军刘英杰郑华荣等

目录

1标准状态

  • 发布于2015-10-01
  • 执行于2015-04-30
  • 废止于

2基础信息

标准号
YS/T 1060-2015
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
中国标准分类号
H17
国际标准分类号
77.040.30
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会
主管部门
工业和信息化部
行业分类
制造业

3备案信息

备案号:50408-2015。

备案公告: 2015年第7号

4适用范围

本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷(包括二氯二氢硅、四氯化硅)含量的测定。测定下限为0.002%。

5起草单位

6起草人

7相近标准(计划)

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