硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法
行业标准《硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 中锗科技有限公司 、昆明冶研新材料股份有限公司 、江苏中能硅业科技发展有限公司等 。
主要起草人 刘英杰 、郑华荣 、柯尊斌等 。
目录
1标准状态
- 发布于2015-10-01
- 执行于2015-04-30
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- YS/T 1059-2015
- 发布日期
- 2015-04-30
- 实施日期
- 2015-10-01
- 中国标准分类号
- H17
- 国际标准分类号
- 77.040.30
- 归口单位
- 全国有色金属标准化技术委员会
- 主管部门
- 工业和信息化部
- 行业分类
- 制造业
3备案信息
备案号：50407-2015。
备案公告： 2015年第7号 。
4适用范围
本标准适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定，测定范围为0.00005%～0.005%。
中锗科技有限公司