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微电子学光掩蔽技术术语
行业标准-SJ 电子
推荐性
现行
行业标准《微电子学光掩蔽技术术语》,主管部门为电子工业部。
目录
1
标准状态
发布于1994-12-01
执行于1994-08-08
废止于
2
基础信息
标准号
SJ/T 10584-1994
发布日期
1994-08-08
实施日期
1994-12-01
主管部门
电子工业部
行业分类
无
3
备案信息
备案号:0046-1995。
4
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