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多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料

Fused quartz used for quartz ceramic crucibles for casting polycrystalline silicon

国家标准 推荐性 现行

国家标准《多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 国家硅材料深加工产品质量监督检验中心东海县产品质量监督检验所江苏中腾石英材料科技有限公司中材高新江苏硅材料有限公司中国电子技术标准化研究院

主要起草人 薄雷明程尚栩栾振祥张存君王祥许振午李建德管琪冯亚彬

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