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专用衰减式移相掩模版及掩模基板特性规范

Specification for characteristics specific to attenuated phase shift mask and mask blanks

国家标准计划 制订 推荐性

国家标准计划《专用衰减式移相掩模版及掩模基板特性规范》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中国科学院微电子研究所中国电子技术标准化研究院

目录

1项目进度

  • 网上公示
  • 起草
  • 征求意见
  • 审查
  • 批准
  • 发布

2基础信息

计划号
20154011-T-469
制修订
制订
项目周期
24个月
下达日期
2016-01-04
国际标准分类号
31.030
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

3起草单位

4相近标准(计划)

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