登录道客巴巴

光掩模对准标记规范

Specification for registration marks for photomasks

国家标准 推荐性 现行

国家标准《光掩模对准标记规范》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中国科学院微电子中心

目录

1标准状态

  • 发布于1996-09-09
  • 执行于1997-05-01
  • 废止于

2基础信息

标准号
GB/T 16524-1996
发布日期
1996-09-09
实施日期
1997-05-01
中国标准分类号
L95
国际标准分类号
31.200
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

3起草单位

4起草人

5相近标准(计划)

关注我们

关注微信公众号