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电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

Determination of metal content in gases—Inductively coupled plasma mass spectrometry method

国家标准 推荐性 现行

国家标准《电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 上海市计量测试技术研究院西南化工研究设计院有限公司高麦仪器公司广东华特气体股份有限公司北京华宇同方化工科技开发有限公司苏州金宏气体股份有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司中昊光明化工研究设计院有限公司

主要起草人 陈鹰姜阳周鹏云牛艳东傅铸红杜汉盛江罗许军洲方华常侠

目录

1标准状态

  • 发布于2017-11-01
  • 执行于2018-02-01
  • 废止于

2基础信息

标准号
GB/T 34972-2017
发布日期
2017-11-01
实施日期
2018-02-01
中国标准分类号
G86
国际标准分类号
71.040.40
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

3起草单位

4起草人

5相近标准(计划)

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