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蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线测量方法

Measurement method for X-ray double crystal diffraction rocking curve of sapphire crystals

国家标准 推荐性 现行

国家标准《蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线测量方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中国科学院上海光学精密机械研究所上海大恒光学精密机械有限公司中国科学院新疆理化技术研究所新疆紫晶光电技术有限公司江苏浩瀚蓝宝石科技有限公司丹东新东方晶体仪器有限公司

主要起草人 杭寅徐民潘世烈张方方赵兴俭郭宏鹤赵松彬

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