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半导体设备电源接口

Power supply interface for semiconductor equipment

国家标准 推荐性 现行

国家标准《半导体设备电源接口》由TC153(全国电子测量仪器标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为工业和信息化部(电子)。

主要起草单位 中国人民解放军空军雷达学院工业和信息化部电子工业标准化研究院

主要起草人 朱忠尼亓迎川梅昌义祁承超等

目录

1标准状态

  • 发布于2013-12-17
  • 执行于2014-05-15
  • 废止于

2基础信息

标准号
GB/T 15872-2013
发布日期
2013-12-17
实施日期
2014-05-15
全部代替标准
GB/T 15872-1995
中国标准分类号
L23
国际标准分类号
31.220.10
归口单位
全国电子测量仪器标准化技术委员会
执行单位
全国电子测量仪器标准化技术委员会
主管部门
工业和信息化部(电子)

3起草单位

4起草人

5相近标准(计划)

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