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硅单晶电阻率测定方法

Test method for measuring resistivity of monocrystal silicon

国家标准 推荐性 现行

国家标准《硅单晶电阻率测定方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 信息产业部专用材料质量监督检验中心中国电子科技集团公司第四十六研究所

主要起草人 李静何秀坤张继荣段曙光

目录

1标准状态

  • 发布于2009-10-30
  • 执行于2010-06-01
  • 废止于

2基础信息

标准号
GB/T 1551-2009
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
全部代替标准
GB/T 1551-1995,GB/T 1552-1995
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

3起草单位

4起草人

5相近标准(计划)

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