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硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法

Test methods for photoluminescence analysis of single crystal silicon for III-V impurities

国家标准 推荐性 现行

国家标准《硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 信息产业部专用材料质量监督检验中心 、中国电子科技集团公司第四十六研究所 。

主要起草人 李静 、何秀坤 、蔺娴 。

目录

1标准状态

  • 发布于2009-10-30
  • 执行于2010-06-01
  • 废止于

2基础信息

标准号
GB/T 24574-2009
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

3起草单位

4起草人

李静 何秀坤 蔺娴

5相近标准（计划）

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