离子束蚀刻机通用技术条件
Generic specification of ion beam etching system
国家标准《离子束蚀刻机通用技术条件》由339-1（工业和信息化部（电子））归口上报及执行，主管部门为工业和信息化部（电子）。
主要起草单位 电子部长沙半导体工艺设备所 。
1标准状态
- 发布于1995-12-22
- 执行于1996-08-01
- 废止于2013-02-15
2基础信息
- 标准号
- GB/T 15861-1995
- 发布日期
- 1995-12-22
- 实施日期
- 1996-08-01
- 废止日期
- 2013-02-15
- 中国标准分类号
- L97
- 国际标准分类号
- 31.200
- 归口单位
- 工业和信息化部（电子）
- 执行单位
- 工业和信息化部（电子）
- 主管部门
- 工业和信息化部（电子）
电子部长沙半导体工艺设备所