离子束蚀刻机通用规范
General specification of ion beam etching system
国家标准《离子束蚀刻机通用规范》由339-1（工业和信息化部（电子））归口上报及执行，主管部门为工业和信息化部（电子）。
主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十八研究所 。
主要起草人 陈特超 、周大良 。
目录
1标准状态
- 发布于2012-11-05
- 执行于2013-02-15
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 15861-2012
- 发布日期
- 2012-11-05
- 实施日期
- 2013-02-15
- 全部代替标准
- GB/T 15861-1995
- 中国标准分类号
- L97
- 归口单位
- 工业和信息化部（电子）
- 执行单位
- 工业和信息化部（电子）
- 主管部门
- 工业和信息化部（电子）
中国电子科技集团公司第四十八研究所