负责专业范围为微电子工艺设备。

擅长专业为1998年至今，作为主要参加人完成超大规模集成电路关键工艺研究（0.25微米）,高性能栅长27纳米CMOS器件及关键工艺技术研究,获北京市科学技术一等奖。作为负责人完成国家自然基金重点项目“ULSI中铜互连技术研究”，为我国首次自主研究铜互连技术。完成国家973项目“磁性存储器研究”， “下一代高清晰度平板显示基础研究”（课题负责人）,“特种功率器件”项目首席专家,完成自然基金重点项目“等离子体注入机”（项目 负责人）。完成国家02专项“32纳米新原理设备”（1.2亿，项目负责人），现负责进行国家自然基金委重大仪器项目“二维材料及量子器件仪器”研究；为中国科学院大学主讲“集成电路工艺及装备”课程。