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X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告

Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting

国家标准 推荐性 即将实施

国家标准《X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口上报，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中国计量科学研究院 。

主要起草人 王海 、王梅玲 、张艾蕊 、宋小平 。

目录

1标准状态

  • 发布于2018-03-15
  • 执行于2019-02-01
  • 废止于

2基础信息

标准号
GB/T 36053-2018
发布日期
2018-03-15
实施日期
2019-02-01
中国标准分类号
G04
国际标准分类号
71.040.40
归口单位
全国微束分析标准化技术委员会
执行单位
全国微束分析标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

3起草单位

4起草人

王海 王梅玲 张艾蕊 宋小平

5相近标准（计划）

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