用于测量关键尺寸（CD）的扫描电子显微镜(SEM)参数描述及术语规范
Specifications for Parameter description and Terminology of critical dimension（CD）measurement scanning electron microscopes （SEM）
国家标准计划《用于测量关键尺寸（CD）的扫描电子显微镜(SEM)参数描述及术语规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 中国科学院微电子研究所 、中国电子技术标准化研究院 。
目录
1项目进度
- 网上公示
- 起草
- 征求意见
- 审查
- 批准
- 发布
2基础信息
- 计划号
- 20154013-T-469
- 制修订
- 制订
- 项目周期
- 24个月
- 下达日期
- 2016-01-04
- 国际标准分类号
- 31.030
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
3起草单位
4相近标准（计划）
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