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卧式扩散炉恒温区在线检测方法

Test Method for In-line Monitoring of Flat Temperature Zone in Horizontal Diffusion Furnaces

国家标准计划 制订 推荐性

国家标准计划《卧式扩散炉恒温区在线检测方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中国光伏产业联盟标准工作组 、中国电子科技集团公司第四十八研究所 、北京七星华创电子股份有限公司 、中国电子技术标准化研究院 。

目录

1项目进度

  • 网上公示
  • 起草
  • 征求意见
  • 审查
  • 批准
  • 发布

2基础信息

计划号
20130144-T-469
制修订
制订
项目周期
36个月
下达日期
2013-08-01
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

3起草单位

4相近标准（计划）

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