电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法

Determination of metal content in gases—Inductively coupled plasma mass spectrometry method

国家标准推荐性现行

国家标准《电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位上海市计量测试技术研究院、西南化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、广东华特气体股份有限公司、北京华宇同方化工科技开发有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司。

主要起草人陈鹰、姜阳、周鹏云、牛艳东、傅铸红、杜汉盛、江罗、许军洲、方华、常侠。

陈鹰姜阳傅铸红杜汉盛方华常侠周鹏云牛艳东江罗许军洲