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多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料

Fused quartz used for quartz ceramic crucibles for casting polycrystalline silicon

国家标准 推荐性 现行

国家标准《多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 国家硅材料深加工产品质量监督检验中心 、东海县产品质量监督检验所 、江苏中腾石英材料科技有限公司 、中材高新江苏硅材料有限公司 、中国电子技术标准化研究院 。

主要起草人 薄雷明 、程尚栩 、栾振祥 、张存君 、王祥 、许振午 、李建德 、管琪 、冯亚彬 。

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