Test method for the EL2 deep donor concentration in semi-insulating gallium arsenide single crystals by infrared absorption spectroscopy
国家标准《半绝缘砷化镓单晶深施主EL2浓度红外吸收测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 信息产业专用材料质量监督检验中心 、天津市环欧半导体材料技术有限公司 、中国电子材料行业协会 。
主要起草人 何秀坤 、李静 、张雪囡 。
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