太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定二次离子质谱法

Test method for measuring oxygen, carbon, boron and phosphorus in solar silicon wafers and feedstock by secondary ion mass spectrometry

国家标准推荐性现行

国家标准《太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定二次离子质谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、北京合能阳光新能源技术有限公司、中铝宁夏能源集团有限公司、宁夏银星多晶硅有限责任公司、洛阳鸿泰半导体有限公司、新特能源股份有限公司。

主要起草人薛抗美、夏根平、肖宗杰、盛之林、范占军、蒋建国、林清香、徐自亮、王泽林、宋高杰、刘国霞。

薛抗美夏根平范占军蒋建国王泽林宋高杰肖宗杰盛之林林清香徐自亮刘国霞