半导体生产设施电磁兼容性要求
Requirements for semiconductor manufacturing facility electromagnetic compatibility
国家标准《半导体生产设施电磁兼容性要求》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 工业和信息化部电子工业标准化研究院 、安徽鑫阳电子有限公司 。
主要起草人 黄英华 、谭建国 、刘军 、周历群 、钟华 、冯亚彬 。
目录
1标准状态
- 发布于2013-12-17
- 执行于2014-04-15
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 30116-2013
- 发布日期
- 2013-12-17
- 实施日期
- 2014-04-15
- 中国标准分类号
- L95
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
3起草单位
4起草人
5相近标准（计划）
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