半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范
Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability, availability, and maintainability(RAM)
国家标准《半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 中国电子技术标准化研究所 。
主要起草人 黄英华 、刘筠 、张建勇 、蒋迪宝 。
目录
1标准状态
- 发布于2009-10-15
- 执行于2009-12-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 24468-2009
- 发布日期
- 2009-10-15
- 实施日期
- 2009-12-01
- 中国标准分类号
- L85
- 国际标准分类号
- 17.040.30
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
3起草单位
4起草人
5相近标准（计划）
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