硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范
Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates
国家标准《硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 长沙韶光微电子总公司 。
目录
1标准状态
- 发布于1996-09-09
- 执行于1997-05-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 16527-1996
- 发布日期
- 1996-09-09
- 实施日期
- 1997-05-01
- 中国标准分类号
- L90
- 国际标准分类号
- 31.200
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
3起草单位
4起草人
5相近标准（计划）
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