物理气相沉积TiN薄膜技术条件
Specifications of physical vapour deposition TiN films
国家标准《物理气相沉积TiN薄膜技术条件》由TC57（全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国机械工业联合会。
主要起草单位 武汉材料保护研究所 。
目录
1标准状态
- 发布于2002-03-10
- 执行于2002-08-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 18682-2002
- 发布日期
- 2002-03-10
- 实施日期
- 2002-08-01
- 中国标准分类号
- A29
- 国际标准分类号
- 25.220.20
- 归口单位
- 全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会
- 主管部门
- 中国机械工业联合会
3起草单位
4起草人
5相近标准（计划）
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