机械制造（真空）

 机械设计和制造

 真空技术标准化工作

 真空技术设计

 电工行业真空应用

 1、输变电行业真空干燥和没处理设备。2、大规模自动化控制系统。3、超级电容真空干燥系统。

 真空获得

 螺杆真空泵和罗茨真空泵的设计研发

 真空离子镀膜设备研发、生产、销售

 真空离子镀膜系统的研发和设计，及对多种阴极的配合使用、工艺开发、等离子体特性等方面比较了解

 极紫外光刻、极紫外真空

 面向下一代光刻极紫外光刻机的极紫外真空技术、清洁真空与超清洁真空技术、动态真空隔离技术、真空快速维持技术

 真空设计研发

 真空设计、高速真空获得设备研发

 真空技术与设备，真空热环境试验

 航天器系统级、分系统级热平衡热真空试验、真空技术及设备

 机械工程（真空技术）

 真空系统、射流泵、非标容器设计开发

 真空计量

 承担建立真空国家基准，建立多套真空标准装置，开展真空计、漏孔量传。修订《真空计量器具检定系统表》，起草、修订多项真空检定规程、校准规范。