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陈宝钦
负责专业范围为微电子技术。
擅长专业为掩模制造技术;微纳米加工技术;微光刻技术;电子束光刻技术;半导体工艺技术;图形数据处理技术等。
目录
1
标委会信息
委员会名称
TC203 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
工作单位
中国科学院微电子研究所微电子设备研发中心
委员会职务
副主任委员
加入时间
1995-10-01
2
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