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吴晓斌

负责专业范围为极紫外光刻、极紫外真空。

擅长专业为面向下一代光刻极紫外光刻机的极紫外真空技术、清洁真空与超清洁真空技术、动态真空隔离技术、真空快速维持技术。

目录

1标委会信息

委员会名称
TC18  全国真空技术标准化技术委员会
工作单位
中国科学院光电研究院
委员会职务
委员
加入时间
2016-12-01

2工作关系

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