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MEMS电场传感器通用技术条件

General specification for MEMS electric field sensor

国家标准 推荐性 即将实施

国家标准《MEMS电场传感器通用技术条件》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中国科学院电子学研究所中机生产力促进中心西安西谷微电子有限责任公司

主要起草人 夏善红彭春荣李海斌郑凤杰程红兵朱悦白巍

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