General specification for MEMS electric field sensor
国家标准《MEMS电场传感器通用技术条件》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 中国科学院电子学研究所 、中机生产力促进中心 、西安西谷微电子有限责任公司 。
主要起草人 夏善红 、彭春荣 、李海斌 、郑凤杰 、程红兵 、朱悦 、白巍 。
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