流化床法颗粒硅

Granular polysilicon produced by fluidized bed method

国家标准推荐性即将实施

国家标准《流化床法颗粒硅》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位江苏中能硅业科技发展有限公司、新特能源股份有限公司、亚洲硅业（青海）有限公司、有色金属技术经济研究院、有研半导体材料有限公司、天津市环欧半导体材料技术有限公司、陕西天宏硅材料有限责任公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司。

主要起草人刘晓霞、蒋立民、付治栋、鲁文锋、贺东江、李明峰、李咸江、银波、宗冰、程凤伶、夏进京、张雪囡、尹敏、秦榕。

刘晓霞蒋立民贺东江李明峰宗冰程凤伶尹敏秦榕付治栋鲁文锋李咸江银波夏进京张雪囡