多晶硅用三氯氢硅组分含量测定 气相色谱法
地方标准《多晶硅用三氯氢硅组分含量测定 气相色谱法》由云南省质量技术监督局归口上报，主管部门为云南省质量技术监督局。
主要起草单位 昆明冶研新材料股份有限公司 。
主要起草人 赵建为 、张云晖 、钱津旺 、金波 、亢若谷 、马启坤 、于晓艳 、左世芳 、陶明 、杨红燕 。
目录
1标准状态
- 发布于2013-08-01
- 执行于2013-10-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- DB53/T 500-2013
- 发布日期
- 2013-08-01
- 实施日期
- 2013-10-01
- 中国标准分类号
- G 10
- 国际标准分类号
- 71.040.40
- 归口单位
- 云南省质量技术监督局
- 主管部门
- 云南省质量技术监督局
- 行业分类
- 制造业
3备案信息
备案号：38311-2013。
备案公告： 2013年第9号 。
4适用范围
本标准规定了气相色谱法测定多晶硅用三氯氢硅中SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、HCl 组分含量的方法。本标准适用于改良西门子法生产多晶硅用三氯氢硅中SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、HCl含量的测定。测定范围: SiH2Cl2 ＞0.01%，SiCl4＞0.01%，HCl＞0.01%。
5起草单位
6起草人
7相近标准（计划）
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