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化学气相沉积炉

行业标准-YS 有色金属 推荐性 现行

行业标准《化学气相沉积炉》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 湖南顶立科技有限公司 、中国有色金属工业标准计量质量研究所等 。

主要起草人 戴煜 、胡祥龙 、胡高健等 。

目录

1标准状态

  • 发布于2015-10-01
  • 执行于2015-04-30
  • 废止于

2基础信息

标准号
YS/T 1031-2015
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
中国标准分类号
H91
国际标准分类号
77.180.
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会
主管部门
工业和信息化部
行业分类
制造业

3备案信息

备案号：50342-2015。

备案公告： 2015年第7号 。

4适用范围

本标准适用于化学气相沉积。

5起草单位

6起草人

戴煜 胡祥龙 胡高健

7相近标准（计划）

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