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集成电路器件用镍钒合金靶材

行业标准-YS 有色金属 推荐性 现行

行业标准《集成电路器件用镍钒合金靶材》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 有研亿金新材料股份有限公司北京有色金属研究总院等

主要起草人 董亭义何金江等

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