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确定晶片坐标系规范

Specification for establishing a wafer coordinate system

国家标准计划 修订 推荐性

国家标准计划《确定晶片坐标系规范》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 有色金属技术经济研究院有研半导体材料有限公司

目录

1项目进度

  • 网上公示
  • 起草
  • 征求意见
  • 审查
  • 批准
  • 发布

2基础信息

计划号
20162491-T-469
制修订
修订
项目周期
24个月
下达日期
2016-12-28
全部代替标准
GB/T 16596-1996
国际标准分类号
29.045
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门
国家标准化管理委员会

3起草单位

4相近标准(计划)

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