磷化铟多晶

Polycrystalline indium phosphide

国家标准计划制订推荐性

国家标准计划《磷化铟多晶》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位南京金美镓业有限公司、有色金属技术经济研究院、中国电子科技集团公司第十三研究所、广东先导稀材股份有限公司、石家庄麦特达电子科技有限公司、中国科学院半导体研究所、云南中科鑫圆晶体材料有限公司。

主要起草人范家骅、邢志国、杨桂芳、刘文兵、李素青、王阳、李晓岚、孙聂枫、刘惠生、赵有文、惠峰、朱刘、刘永豪。