硅多晶真空区熔基硼检验方法
Test method for boron content in polycrystalline silicon by vacuum zone-melting method
国家标准计划《硅多晶真空区熔基硼检验方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 江苏中能硅业科技发展有限公司 、亚洲硅业（青海）有限公司 、洛阳中硅高科技有限公司 、峨嵋半导体材料研究所 。
主要起草人 胡伟 、刘晓霞 、耿全荣 、鲁文锋 、王桃霞 、胡自强 、宗冰 、肖建忠 、万烨 、杨旭 。
目录
1项目进度
- 网上公示
- 起草
- 征求意见
- 审查
- 批准
- 发布
2基础信息
- 计划号
- 20153656-T-469
- 制修订
- 修订
- 项目周期
- 24个月
- 下达日期
- 2016-01-04
- 全部代替标准
- GB/T 4060-2007
- 中国标准分类号
- H17
- 国际标准分类号
- 77.040
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
3起草单位
江苏中能硅业科技发展有限公司4投票情况
- 投票日期
- 2018-04-23~2018-05-07
- 通过率
- 100.00%
