登录道客巴巴
高级检索

基片上抗蚀剂膜厚度测量参数规范

Specification for Parameters for resist thickness measurement on a substrate

国家标准计划 制订 推荐性

国家标准计划《基片上抗蚀剂膜厚度测量参数规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中国科学院微电子研究所 、中国电子技术标准化研究院 。

目录

1项目进度

  • 网上公示
  • 起草
  • 征求意见
  • 审查
  • 批准
  • 发布

2基础信息

计划号
20153726-T-469
制修订
制订
项目周期
24个月
下达日期
2016-01-04
国际标准分类号
31.030
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

3起草单位

4相近标准（计划）

关于我们

帮助中心

关注我们

关注微信公众号