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激光汇聚铬原子束沉积纳米光栅结构研制方法

Method for laser-focusing Cr atom to deposit nano scale length standard

国家标准计划 制订 推荐性

国家标准计划《激光汇聚铬原子束沉积纳米光栅结构研制方法》由TC279(全国纳米技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为中国科学院。

主要起草单位 同济大学纳米技术及应用国家工程研究中心

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