机械电气安全机械电气设备第33部分：半导体设备技术条件

Electrical safety of machinary—Electrical equipment of machines—Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment

国家标准推荐性现行

国家标准《机械电气安全机械电气设备第33部分：半导体设备技术条件》由TC231（全国工业机械电气系统标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位中微半导体设备(上海)有限公司、北京机床研究所、上海微电子装备有限公司、北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司、沈阳拓荆科技有限公司、北京七星华创电子股份有限公司、中晟光电设备（上海）有限公司、理想太阳能（上海）有限公司、盛美半导体设备（上海）有限公司。

主要起草人李天笑、黄祖广、王海涛、田保峡、郭和平、沈红、孙东曦、潘菊凤、孙岩、刘忠武、张志强、李补忠、薛瑞娟。

李天笑黄祖广郭和平沈红孙岩刘忠武薛瑞娟王海涛田保峡孙东曦潘菊凤张志强李补忠