光刻用石英玻璃晶圆
Quartz glass wafer for lithography
国家标准《光刻用石英玻璃晶圆》由TC447（全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国建筑材料联合会。
主要起草单位 中国建材检验认证集团股份有限公司 、中建材衢州金格兰石英有限公司 、长沙韶光铬版有限公司 、中国建筑材料科学研究总院 、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心 。
主要起草人 吴洁 、王京侠 、王友军 、李弋舟 、花宁 、刘焕敏 、肖颂华 、聂兰舰 、张浩运 、杨晓会 、杨学东 、孔敏 、张应语 。
目录
1标准状态
- 发布于2017-09-07
- 执行于2018-08-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 34177-2017
- 发布日期
- 2017-09-07
- 实施日期
- 2018-08-01
- 中国标准分类号
- Q35
- 国际标准分类号
- 81.040.30
- 归口单位
- 全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会
- 主管部门
- 中国建筑材料联合会
中国建材检验认证集团股份有限公司