硅材料原生缺陷图谱
Metallographs collection for original defects of crystalline silicon
国家标准《硅材料原生缺陷图谱》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 有研半导体材料股份有限公司 、东方电气集团峨眉半导体材料有限公司 、南京国盛电子有限公司 、杭州海纳半导体有公司 、万向硅峰电子股份有限公司 、四川新光硅业科技有限责任公司 、陕西天宏硅材料有限责任公司 、中国有色金属工业标准化计量质量研究所 。
主要起草人 孙燕 、曹孜 、翟富义 、杨旭 、谭卫东 、黄笑容等 。
目录
1标准状态
- 发布于2013-12-31
- 执行于2014-10-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 30453-2013
- 发布日期
- 2013-12-31
- 实施日期
- 2014-10-01
- 中国标准分类号
- H80
- 国际标准分类号
- 29.045
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
3起草单位
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有研半导体材料股份有限公司
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南京国盛电子有限公司
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万向硅峰电子股份有限公司
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陕西天宏硅材料有限责任公司
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东方电气集团峨眉半导体材料有限公司
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杭州海纳半导体有公司
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四川新光硅业科技有限责任公司
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中国有色金属工业标准化计量质量研究所
