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声表面波(SAW)器件用单晶晶片规范与测量方法

Single crystal wafers for surface acoustic wave (SAW) device applications―Specifications and measuring methods

国家标准 推荐性 现行

国家标准《声表面波(SAW)器件用单晶晶片规范与测量方法》由TC182(全国频率控制和选择用压电器件标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为工业和信息化部(电子)。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第二十六研究所中国电子科技集团德清华莹电子有限公司北京石晶光电科技有限公司

主要起草人 张小梅蒋春键吴兆刚吴剑波赵雄章周洋舟

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