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电子级水中微粒的仪器测试方法

Test method for particles in electronic grade water by instrument

国家标准 推荐性 现行

国家标准《电子级水中微粒的仪器测试方法》由339-1(工业和信息化部(电子))归口上报及执行,主管部门为工业和信息化部(电子)。

主要起草单位 信息产业部专用材料质量监督检验中心中国科学院半导体研究所中国电子技术标准化研究院中国电子科技集团公司第四十六研究所

主要起草人 王奕褚连青何秀坤段曙光等

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