Silicon capacitive pressure sensor
国家标准《硅电容式压力传感器》由604-1(中国机械工业联合会)归口上报及执行,主管部门为中国机械工业联合会。
主要起草单位 沈阳仪表科学研究院 、传感器国家工程研究中心 、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心 、浙江中控仪表有限公司等 。
主要起草人 张治国 、刘沁 、李颖 、匡石 、徐秋玲等 。
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