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扫描探针显微镜漂移速率测量方法

Measurement methods of drift rate of scanning probe microscope

国家标准 推荐性 现行

国家标准《扫描探针显微镜漂移速率测量方法》由TC279(全国纳米技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为中国科学院。

主要起草单位 中国科学技术大学上海市计量测试技术研究院

主要起草人 黄文浩陈宇航李源傅云霞褚家如李家文等

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