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吸气剂成分分析测试方法

Test methods for composition analysis of getters

国家标准 推荐性 现行

国家标准《吸气剂成分分析测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 南京华东赛斯真空材料有限公司工业和信息化部电子工业标准化研究所中国电子科技集团公司第十二研究所

主要起草人 薛函迎郭卫斌张巨先刘筠

目录

1标准状态

  • 发布于2010-12-01
  • 执行于2011-05-01
  • 废止于

2基础信息

标准号
GB/T 25494-2010
发布日期
2010-12-01
实施日期
2011-05-01
全部代替标准
GB/T 6625-1986,GB/T 6626.2-1986,GB/T 9506.3-1988
中国标准分类号
L90
国际标准分类号
31.030
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

3起草单位

4起草人

5相近标准(计划)

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